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氧化鎵晶錠
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氧化鎵襯底
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氧化鎵外延片
氧化鎵流片
氧化鎵設(shè)備
6英寸氧化鎵晶錠
利用導(dǎo)模法(EFG)生長(zhǎng)的8mm厚半絕緣型及導(dǎo)電型Ga
2
O
3
單晶晶錠
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1.晶錠尺寸:直徑≥150mm
2.晶面偏差:<±1°