我們實(shí)現(xiàn)了國(guó)際首個(gè)12英寸氧化鎵單晶的制備 ，這不單單是尺寸的變化，更是一次產(chǎn)業(yè)化質(zhì)的飛躍。
作為杭州光機(jī)所孵化的標(biāo)桿性硬科技企業(yè)，富加鎵業(yè)自成立以來(lái)，始終堅(jiān)持獨(dú)立自主的創(chuàng)新道路，專(zhuān)注于第四代半導(dǎo)體氧化鎵單晶材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。在浙江衛(wèi)視的報(bào)道中，公司副總經(jīng)理黃浩天介紹了我司最新成果：“我們實(shí)現(xiàn)了國(guó)際首個(gè)12英寸氧化鎵單晶的制備 ，這不單單是尺寸的變化，更是一次產(chǎn)業(yè)化質(zhì)的飛躍。”這一突破標(biāo)志著我國(guó)在超寬禁帶半導(dǎo)體材料領(lǐng)域邁入國(guó)際領(lǐng)先行列，為下一代功率器件、射頻器件等應(yīng)用提供了關(guān)鍵材料支撐。
富加鎵業(yè)副總經(jīng)理黃浩天(圖片來(lái)自中國(guó)藍(lán)新聞)
成績(jī)的取得，源于富加鎵業(yè)核心團(tuán)隊(duì)在底層工藝上的多年死磕與不懈探索。從實(shí)驗(yàn)室技術(shù)驗(yàn)證到中試放大，再到如今的萬(wàn)片級(jí)產(chǎn)線建設(shè)，富加鎵業(yè)憑借深厚的技術(shù)積累和敏銳的市場(chǎng)洞察，正在跨越從科研成果到商業(yè)化產(chǎn)品的“死亡之谷”。在此過(guò)程中，杭州光機(jī)所作為孵化平臺(tái)，為公司提供了寶貴的資源共享與對(duì)接支持，助力公司邁出了堅(jiān)實(shí)的第一步。
產(chǎn)品介紹
01
｜氧化鎵設(shè)備：
公司研制了國(guó)際上首臺(tái)具備“一鍵長(zhǎng)晶”功能的EFG設(shè)備，可以滿足2-8英寸晶體生長(zhǎng)需求，目前獲得國(guó)內(nèi)授權(quán)專(zhuān)利6項(xiàng)，國(guó)際授權(quán)專(zhuān)利4項(xiàng)，可提供設(shè)備及配套工藝包。公司自行研制了全自動(dòng) VB 晶體生長(zhǎng)設(shè)備，并在國(guó)內(nèi)率先突破了12英寸單晶生長(zhǎng)技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)了大尺寸 VB 法單晶制備。目前獲得國(guó)內(nèi)授權(quán)專(zhuān)利6項(xiàng)，國(guó)際授權(quán)專(zhuān)利4項(xiàng)，可根據(jù)客戶需求提供VB設(shè)備及工藝包。
02
｜氧化鎵單晶襯底：
作為中國(guó)最早投身氧化鎵單晶生長(zhǎng)研究的先行者與業(yè)界領(lǐng)先的供應(yīng)商，我們致力于為全球客戶提供卓越的氧化鎵單晶襯底。我們的產(chǎn)品線覆蓋2-8英寸26種常規(guī)性氧化鎵襯底產(chǎn)品，并能夠提供尺寸，電學(xué)性能與晶向的定制化方案，滿足高質(zhì)量外延片研發(fā)及批量制備需求。
03
｜氧化鎵外延片：
基于成熟的 MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）與 MBE（分子束外延）技術(shù)平臺(tái)，我們的產(chǎn)品線覆蓋 2-6 英寸等15種常規(guī)性氧化鎵外延片產(chǎn)品，及定制化 MBE 氧化鎵外延片產(chǎn)品，為客戶提供 “襯底-外延”一體化解決方案。外延層生長(zhǎng)過(guò)程采用精準(zhǔn)的工藝控制體系，可根據(jù)客戶需求定制外延層厚度、摻雜濃度、組分均勻性等關(guān)鍵參數(shù)，能夠滿足不同功率等級(jí)、不同功能類(lèi)型的器件研發(fā)與生產(chǎn)需求。
企業(yè)簡(jiǎn)介
杭州富加鎵業(yè)科技有限公司
公司成立于2019年12月31日，公司以“讓世界用上好材料”為愿景，開(kāi)展超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作，核心產(chǎn)品為氧化鎵單晶襯底、MOCVD/MBE 外延片、布里奇曼法（VB法）及導(dǎo)模法(EFG法)晶體生長(zhǎng)裝備等，為材料研制提供系統(tǒng)性解決方案，加速超寬禁帶氧化鎵產(chǎn)業(yè)全鏈路貫通，推進(jìn)氧化鎵材料在功率器件、微波射頻器件及光電探測(cè)等領(lǐng)域應(yīng)用。公司在氧化鎵領(lǐng)域發(fā)展方面取得的系列重要成果已獲CCTV1、CCTV2、《人民日?qǐng)?bào)》、新華網(wǎng)、《中國(guó)證券報(bào)》、澎湃新聞等知名媒體專(zhuān)題宣傳報(bào)道。企業(yè)榮譽(yù)匯總： 2022年獲得浙江省科技型中小企業(yè)；2023年獲得國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)；2024年獲得杭州市企業(yè)高新技術(shù)研發(fā)中心及浙江省專(zhuān)精特新中小企業(yè)；2025年獲得 ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證（編號(hào)：20225Q20294R0M）；2024年度杭州市“新雛鷹”企業(yè)；在氧化鎵領(lǐng)域，正牽頭起草氧化鎵領(lǐng)域首個(gè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，并承擔(dān)了國(guó)家發(fā)改委項(xiàng)目1項(xiàng)，國(guó)家工信部項(xiàng)目1項(xiàng)，參與了國(guó)家自然科學(xué)基金委、浙江省、上海市等國(guó)家及省部級(jí)項(xiàng)目3項(xiàng)。另外，獲得國(guó)際專(zhuān)利授權(quán)14項(xiàng)（美國(guó) 6 項(xiàng)，日本7項(xiàng)，歐洲1項(xiàng)），國(guó)內(nèi)專(zhuān)利授權(quán)42項(xiàng)，“富加鎵業(yè)”商標(biāo)認(rèn)證注冊(cè)3項(xiàng)，軟件著作權(quán)（“一鍵長(zhǎng)晶”控制軟件）5項(xiàng)。